主营产品：
联系千(qian)亿球友(you)会(hui)
企业传真(zhen)：
企(qi)业邮箱：
仪(yi)器(qi)咨询：康经理
产品详情
简单介绍：
● 可对完整的硅片测量（*大可达直径30cm）。
● 使用毛细管柱分析，可以此性测量多种有机化合物。
● 可检测pg/cm2（硅片表面）的微量有机化合物。
● 符合国家标准GBT 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
● 符合国际标准ＳＥＭＩＭF1982-99，SEMI MF1982-1103
详情介绍：
温度(du)范(fan)围：100 – 700°C
硅片直径：3 – 12″ (300mm)
尺寸(cun)：990 (W) × 1030 (D) × 1900 (H) mm
接(jie)触材料(liao)：石英玻(bo)璃
产品(pin)询价
